广州市昊志机电股份有限公司Guangzhou Haozhi Industrial Co., LTD.
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采用精密加工的气浮部件搭配均匀气膜设计，确保运动时垂直和水平方向的直线度误差小于0.2微米/100毫米；
elmo高性能驱动器结合海德汉高精度反馈系统，实现重复定位精度优于0.035微米；
优秀的气浮结构设计，提供高承载能力，可支持超过100公斤负载，同时保持高刚性；
多耦合场仿真确定极优的气场参数设计，确保在气压大于0.65MPa时，仍可运行平稳且长期可靠。
极高的垂直/水平直线度
＜0.2um/100mm
极高的重复定位精度
＜0.035um
高承载特性
＞100kg/＞70N/um
极好的稳定性
气压＞0.65MPa
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